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  • 手套箱复合热蒸发薄膜沉积系统
手套箱复合热蒸发薄膜沉积系统

手套箱复合热蒸发薄膜沉积系统

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、设备参数:

规格型号

SYCY-ZF02A

结构形式

真空室采用方型箱体前后开门 采用侧滑门开启

真空室

400mm×400mm×500mm

真空系统配置

机械泵+分子泵

极限压力

5.0×10-5Pa(经烘烤除气后);

恢复真空时间

45分钟可达到8.0×10-4Pa

样品台

样片尺寸:可放置3英寸基片

样片加热最高温度:800℃±1℃

样片旋转:转速0~30转/分

样片与蒸发源间距:250~300mm可调

 

 

金属蒸发源

加热温度(约):室温~1500℃

安装位置:腔体底部均匀分布

蒸发源数量:4-6组

蒸发源挡板开启关闭方式:手动、气动、电动

冷却方式:水冷

 

热蒸发电源

功率:1000W-2000W

电压:5V

电流:200A-300A

电源数量:4-8台

 

有机蒸发源

加热温度:室温-600℃

安装位置:腔体底部均匀分布

蒸发源数量:4-6组

控温精度:±1℃

蒸发源挡板开关方式:手动、气动、电动(任选)

 

有机蒸发电源

功率:500W-1000W

电压:24V

电流:20A-40A

电源数量:4-8台

 

石英晶振膜厚控制仪

膜厚显示范围:0~99μ9999Å

膜厚测量分辨率:0.1Å/s

膜厚探头数量:2-6只

水冷却循环系统

制冷量:2.85KW

整机控制方式

(控制方式为选配)

手动控制

半自动控制

全自动化控制

手套箱

箱体尺寸:1800mm(长)×900mm(高)×750mm(下宽)

过渡舱

尺寸:直径360mm,长600mm

循环净化系统

控制:水、氧控制在<1ppm

调节装置

通过PLC触摸式调节(加热、抽空、净化、再生)全过程无需人为监控

工作气体

N2或Ar(气体循环)

再生系统

用于净化系统再次利用,使其活化;再生需要N2/H2或Ar/ H 2的混合气体,其中H2占5-10%

显示系统

控制单元采用德国Siemens PLC触摸屏,操作菜单:中文

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